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Rigaku利用世界一流研究基础设施加速推进新一代半导体计量技术的开发

时间:2026-05-14 10:35:00  来源:文传商讯  作者:
 
东京--(美国商业资讯)-- X射线分析系统的全球解决方案合作伙伴Rigaku Corporation是Rigaku Holdings Corporation(总部:东京都昭岛市;首席执行官:Jun Kawakami;以下简称“Rigaku”)的集团子公司,该公司宣布将利用全球研究环境,进一步拓展面向下一代半导体的计量技术开发。

本新闻稿包含多媒体。此处查看新闻稿全文: https://www.businesswire.com/news/home/20260512421459/zh-CN/

作为该计划的一部分,Rigaku正与总部位于比利时的全球领先半导体研究与创新中心imec合作,共同开展一项为期三年的研发项目。通过此次合作,Rigaku将进一步推进其核心X射线技术的发展,包括3D器件计量、超薄膜及微量元素的高灵敏度检测,以及微观缺陷的无损检测。

随着半导体器件向全栅极(GAA)和互补场效应晶体管(CFET)1等先进架构演进,加之存储密度不断提升,制造工艺正变得日益复杂。这推动了对高精度、无损测量与检测技术日益增长的需求,从而支持稳定的量产。Rigaku通过提供高价值、差异化的计量与检测解决方案,满足了这些需求。

重点领域

  • 先进逻辑:CFET器件的计量与检测技术
  • 光栅计量学:评估EUV2光刻中光掩模老化
  • 高级布线与封装3:无损检测技术
  • 先进存储器:评估3D DRAM(新一代存储器器件)的纳米结构

Rigaku执行董事兼半导体计量事业部总经理Markus Kuhn表示,“预计到2030年,Rigaku在先进AI半导体领域的计量与检测产品的可服务市场(SAM)规模将达到约10亿美元。为应对这一市场增长,Rigaku将持续推出高价值、差异化的产品,目标是在该SAM中占据50%的市场份额。加强与imec的合作将进一步提升我们在高附加值测量与检测领域的竞争力,为中长期增长提供支持。”

1 GAA/CFET:全栅极/互补场效应晶体管。这是新一代器件架构,其中n型和p型晶体管垂直堆叠,从而将器件密度提升至超越纳米片(GAA)技术的水平。
2. EUV光刻:一种用于先进半导体制造的核心技术,能够形成超精细电路图案。
3 先进封装:一种将多个半导体芯片集成在一起的封装技术,从而提升性能并降低功耗

关于Rigaku Group

自1951年成立以来,Rigaku集团的专业工程技术人员一直致力于利用尖端技术造福社会,尤其是在X射线和热分析等核心领域。Rigaku的市场遍及136个国家和地区,在全球九个分支机构拥有约2000名员工,是工业界和研究分析机构的解决方案合作伙伴。我们的海外销售比例已达到约70%,同时在日本保持着极高的市场份额。我们与客户一起不断发展壮大。随着应用领域从半导体、电子材料、电池、环境、资源、能源、生命科学扩展到其他高科技领域,Rigaku实现了“通过推动新视角来改善我们的世界”的创新。
详情请访问: rigaku-holdings.com/english

免责声明:本公告之原文版本乃官方授权版本。译文仅供方便了解之用,烦请参照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

在 businesswire.com 上查看源版本新闻稿: https://www.businesswire.com/news/home/20260512421459/zh-CN/

CONTACT:

媒体联系方式:
Sawa Himeno
Rigaku Holdings Corporation 传播部总监
prad@rigaku.co.jp

4月9日与imec举行签约仪式

 
 
 
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